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產(chǎn)品中心流量計氣體質量流量計MFC330氫氣質量流量控制器
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氫氣質量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的設備?。
該設備的工作原理基于流體力學和傳熱原理，通過質量流量傳感器測量氣體流經(jīng)管道時的壓差和溫度變化，進而計算出氣體的質量流量，并通過控制閥門調節(jié)氣體流量，使其保持在設定的范圍內(nèi)?。
產(chǎn)品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經(jīng)濟有效的解決方案
主要參數(shù)
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-100% FS.（1:100）
準確度 ±1% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間 <3 秒
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳
閥門 常閉式
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號半導體智能制造創(chuàng)新港
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