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產品分類MFM330氣體質量流量計，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFM330氣體質量流量計依然能夠保持穩定的流量控制。
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產品簡介
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MFM330氣體質量流量計，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFM330氣體質量流量計依然能夠保持穩定的流量控制。
MFC330工作原理：
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
| 滿量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.82 kg |
| 4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
| 100 sccm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1 kg |
| 5.43 in | 3.22 in | 1.496 in | 2.440 in | 1.181 in | 0.157 in | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.21 lb |
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服務電話：
18168878188
蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能制造創新港
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