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產品簡介
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主要參數 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
介質要求 Applicable media | 潔凈干燥氣體 Clean, dry gases |
氣體種類 Gas type | 98+氣體可選 Available for 98+ types of gas |
量程 Full Scale（N2 equivalent） | 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm；0-1, 2, 5, 10, 20, 30 slpm |
測量范圍measurement range | 0.5%F.S. (1:200) |
控制范圍 Control range | 1% - 10 0% F.S. (1:100) |
準確度 Accuracy | 標準 Standard：±1% F.S. 高精度High Performance：±0.5% |
重復精度Repeatability | ±0.2% F.S. |
線性度Linearity | ±0.2% F.S. |
控制響應時間 Settling time (in control) | <3秒 |
預熱時間 Warm-up time | 5 min (T95), 30分鐘 30min for optimum accuracy |
閥門Valve function | 常閉式 Normally Closed |
泄露率 Leak integrity | 1*10-8 Pa·m3/sec He |
機械特性 MECHANICAL | |
工作壓力 Maximum pressure | 3 MPa (30bar） |
工作壓差范圍 Operating differential pressure | 0 ~ 1 MPa |
工作溫度范圍Operating temperature range | -20 ~ 65℃ (環境和氣體 ambient and gas) |
濕度范圍 Relative humidity range | 0 ~ 98% 無凝露 No-condensing |
氣路接頭類型Process connections | 卡套,、VCR、快插、快擰 (可選) (Push-in fitting, Push-on fitting, Compression fitting, VCR optional) |
氣體接觸材質Material | 氟橡膠、304/316不銹鋼 (FKM, 300-series Stainless steel) |
密封材質Seals | 氟橡膠 FKM |
防護等級 Ingress protection (housing) | IP40 |
安裝方式 Mounting | 水平安裝方向校準 Calibrated in horizontal mounting orientation |
固定孔 Mounting holes |
|
重量 Weight | 0.96 kg |
電氣和通訊 COMMUNICATIONS | |
電氣連接接口類型Electrical connection | DB – 9公頭 (Male) |
模擬信號 Analog input and output options | 0 – 5 VDC, 4 – 20 mA （可定制） |
輸入輸出阻抗 Impedance resistance | 輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ |
模擬數據更新頻率Analog data update rate | 200Hz |
數字信號 Digital input and output options | Modbu RTU (RS232, RS485), CAN |
通信速率 Digital data update rate | 9600(默認), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200 bps（用戶可修改） |
電源 Power requirements | 15 – 40 VDC,<200mA |
顯示更新頻率Display update rate | 50Hz |
模擬信號精度 Analog signal accuracy | ±0.05%F.S. |
特征 FRATURE | |
標況 STP reference conditions | 20℃， 1 atm |
氣體選擇Gas Select | 可選，具體參考說明書氣體系數 |
軟件Software | Aitoly分階流量軟件 |
尺寸 DIMENSIONS | Weight | ||||||||
Full scale flow | Height | Width | Depth | A | B | C | D | E | 重 量 |
2 sccm~30 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm |
| ≈0.96 kg |
4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in |
| ≈2.1 lb | |
100slpm-500slpm | 138mm | 82mm | 38mm | 62.mm | 30mm | 4mm | 10mm |
| 1.3kg |
5.43in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.157 | 0.393 |
| 2.88lb | |
·微小氣體流量質量控制器MFC330系列使用毛細管柱傳感器，其傳感器、比例閥等核心器件均為自主研發，具有穩定性高、抗腐
蝕、高精度、高重復性等特點。
·MFC300微小氣體流量質量控制器系列使用MEMS傳感器原理，該系列產品具有響應速度快、無需預熱、精確度高等特點;·另有皂膜氣體流量標準裝置，應用及第三方檢定單位。
·Aitoly 氣體質量流量計廣泛應用于科研院所、半導體、光伏、真空鍍膜、分析儀器、生物工藝和生物反應、環境保護、石化、食品、工業自動化及等等。
愛拓利具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件研發水平， 擁有自主知識產權的氣體質量流量計及控制器核心部件（高精度氣體質量流量傳感器和高穩定性微型比例閥、全金屬密封比例閥）及生產設備，是國內少數能夠全面自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業之一?！耙躁P鍵技術自主研發為核心使命、以市場為導向"，愛拓利致力于為用戶提供精準、穩定、可靠的標準化產品、定制化服務和解決方案。
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